派克超高纯隔膜阀SM930LP1NCS202,这里为你完整解析派克 Veriflo SM930LP1NCS202 超高纯贴面安装隔膜阀,重点区分与 SM930LP1NCS102 的核心差异(在于202 控制接口规格),并提供型号解码、核心参数、安装维护、选型建议。
一、型号精准解码
SM930:930 系列 超高纯(UHP)贴面安装隔膜阀,无螺纹 / 弹簧截留,低颗粒
LP:低压执行器(大 125 PSI / 8.6 bar),额定驱动气压 75 psig(5 bar)
1:1-1/8"(28.58 mm)标准阀体尺寸
NC:常闭(Normal Closed),失气 / 无操作时保持切断
S:标准阀座(PCTFE 聚三氟氯乙烯),可选 PEEK/Vespel®
202:控制接口规格,区别于 102(10-32 UNF);202 为 1/4-28 UNF 接口,适配更大控制管路 / 接头
二、核心技术参数
表格
项目规格
类型UHP 316L 不锈钢贴面隔膜阀,气动 LP 低压型,常闭
阀体Vericlean™ 316L 不锈钢,内电解抛光,Ra ≤ 5 μin,低硫高纯级
大工作压力125 PSI(8.6 bar),真空至 8.6 bar 兼容
执行器接口202 = 1/4-28 UNF;侧面安装;同时带 1/8" NPT 备用 / 标准气源口
Cv 值约 0.30,小流量高精度控制
密封 / 隔膜Elgiloy® 支撑 + FKM/PTFE 复合隔膜,100% 氦气检漏,零泄漏;阀座 PCTFE(S 标准)
温度范围-40°F 至 180°F(-40°C 至 82°C),适配高纯气体 / 电子化学品
安装标准C-Seal 贴面法兰,4 孔中心圆 Ø1.50 in(38.1 mm),端到端长度 2.78 in(70.61 mm)
三、工作原理
气动 LP 执行器驱动膜片垂直运动,直接启闭流道;无内部死角、流体路径平滑,避免颗粒截留与交叉污染;常闭设计在系统故障 / 失压时自动切断,提升安全。手动 / 气动可互换,无需触碰流道部件。
四、典型应用场景
半导体晶圆厂:特种工艺气体、电子化学品输送 / 分配
超高纯气体系统:大宗 / 载气、真空管路、低压力高精度控制
光伏 / 显示面板:高纯化学品、稀释气体管路
分析仪器、生物医药:洁净低吸附、零泄漏的流体控制
五、安装与维护要点
安装前清洁:密封面必须无颗粒、油污,用高纯异丙醇 / 氮气吹扫;严禁用普通抹布擦拭;平面度 ≤ 0.002 in / 英寸
法兰紧固:4 颗螺栓对角均匀拧紧,不锈钢紧固件推荐扭矩 18–20 in-lbs(2.03–2.26 N·m),防止阀体 / 密封面变形
压力边界:严禁超 125 PSI(8.6 bar)工作压力;驱动气压控制在 60–120 psig,额定 75 psig
接口区分:202(1/4-28 UNF)用于控制管路,1/8" NPT 为标准气源口,不可接反 / 混接;严禁用螺纹密封胶污染 UHP 系统
膜片寿命:高纯工况按周期检查 / 更换膜片组件;接触强腐蚀性介质时缩短周期;更换必须在洁净环境中操作
材质兼容:PCTFE 阀座适合多数气体 / 弱腐蚀化学品;强酸碱建议升级 PEEK/Vespel®
六、与 102 型号的关键差异
控制接口:102 = 10-32 UNF(小口径);202 = 1/4-28 UNF(大口径,更适合需更快响应或更大控制流量的系统)
接头选型:202 可直接配 1/4-28 仪表接头,无需转接头;102 适合微型控制管路
安装尺寸:主体安装法兰 / 阀体尺寸一致,仅执行器侧面的控制接口螺纹不同,可互换安装在同一面板
补充建议
订购时明确介质兼容性,必要时升级阀座 / 隔膜材质;
系统打压必须用氦检,确保无泄漏;
现场备件优先备膜片组件、接口密封件;
可配套限位开关实现远程位置指示。
派克超高纯隔膜阀SM930LP1NCS202