派克微型比例阀910-000200系列美国制造

派克微型比例阀910-000200系列美国制造

Parker 910-000200系列超低流量比例阀

▫归属 VSO Low Flow 系列

▫最大流量 500 SCCM，超微小气流精准调节

▫自带热补偿，削弱温度带来流量漂移

▫2 通 NC 常闭结构，失电切断气源

适用色谱仪器、微量气体配比、精密吹扫

⚠仅适合洁净气体，不可用于气动马达主供气

PARKER 910-000200｜VSO Low Flow 超低流量微型比例阀完整资料

重要区分：910-000200 ≠ 910-000042

910-000042：标准 VSO 系列，最大5.5 SLPM（5500 sccm）

910-000200：VSO Low Flow 超微量版本，最大仅 500 SCCM（0.5 SLPM），流量相差 11 倍，切勿混用！

一、基础信息

系列：VSO Low Flow 超低流量微型二通比例阀

机能：2-Way NC 二通常闭（断电关闭）

介质：仅限洁净干燥气体（氮气、空气、氩气、氦气等惰性气体），禁止液体、油污、粉尘杂质

驱动方式：直流电流 / PWM 脉宽调制，支持开环、流量闭环控制

二、核心技术参数（主型号 910-000200 固定规格）

孔口 Orifice：0.003 inch（0.076mm）超小孔径

额定流量：0～500 SCCM @ΔP=25PSI

最高工作压力：150 psi（10.34bar），支持真空～正压工况

内置温度热补偿，宽温环境流量漂移极小

阀体：黄铜 Brass；密封标准 FKM 氟橡胶

泄漏率：He 泄漏＜0.016 SCCM@150psi，超低内泄

设计寿命：≥1000 万次循环

尺寸：45.3×15.9×17 mm；重量 63g

工作温度：5℃～55℃

三、完整型号编码解读

完整型号格式：910-000200-XXX

910 = VSO Low Flow 超低流量平台

000200 = 流量规格代码（0~500sccm 基础本体）

后段 3 位后缀＝电压、电气接口（订货关键）

市面主流后缀：

-001：5VDC，PCB 焊盘安装

-002：8VDC，连接器插头输出

-003：12VDC，18 英寸裸引线（现货最常见）

⚠同一段本体电压不可通用，线圈电阻不同，错电压极易烧毁线圈！

四、产品核心特点

✅超微小流量区间精准调控，适合微量载气、微量吹扫

✅集成热补偿，环境温度波动下流量稳定性优异

✅常闭安全结构，失电自动切断气源

✅分析级洁净处理，可选氧气洁净版本

✅体积紧凑，支持阀块歧管安装，方便设备集成

✅低功耗（1W），适合便携式仪器

五、适用场景

气相色谱、质谱分析仪 EPC 载气控制

实验室微量气体配比、微流量吹扫

医疗设备、氧气浓缩器微量气流调节

精密检漏、微流体实验设备

六、重点⚠选型禁忌（结合你气动行业）

❌不适合任何 GAST 气动马达供气调速！

最大流量只有 0.5SLPM，供气严重不足，扭矩极低，只能用于微量气体控制。

气动马达调速优先选用：910 大孔径（000044/46）或者 921 VSO-MAX 系列。

❌气源缺少精密过滤器严禁上机；微小杂质极易损伤极小阀座孔口，造成关不死、流量漂移。

❌不可通入液体、水汽严重压缩空气。

派克微型比例阀910-000200系列美国制造